О компании

Полупроводниковые технологии

→ Сотрудникам технических служб, конструкторам, механикам предприятий, работающим в сфере полупроводниковых технологий

Как пластики из стандартной программы поставки, так и специальные пластики для полупроводниковых технологий Ensinger широко применяются во всем мире.

Специальные материалы для СMP (ХМП) процессов (для химико-механической планаризации). Сверхчистые, стойкие к износу надежные CMP пластики минимизируют брак в процессах производства кремниевых пластин. Эти пластики прекрасно поддаются механической обработке. Вы можете получить превосходную точность изделия и любую необходимую поверхность без дополнительных усилий.

Следующие пластики для СMP процессов доступны:

TECATRON CMP (PPS)
TECATRON SE (PPS)
TECAPEEK CMP PEEK)
TECAPEEK SE (PEEK)
TECANAT CMP (PC)
TECADUR PET CMP (PET)

Специальные материалы для других процессов изготовления полупроводников. К этой категории относятся полимеры для таких процессов изготовления полупроводников как: производство кремниевых пластин, очистка пластин, процесс химического осаждения из газовой фазы, фотолитография, плазменное травление, инструменты, манипуляции с чипами, совмещение и экспозирование чипов и др.

Для использования материалов в полупроводниковой промышленности важны следующие требования:

Высокая стойкость к термомеханическим нагрузкам
Хорошая электроизоляция
Низкое тепловое расширение
Хорошая износостойкость
Отличная химическая стойкость
Высокая стойкость к плазме
Низкая дегазация в вакууме
Высокая чистота

Благодаря широкому сочетанию самых различных и превосходных свойств TECA пластиков, предназначенных, в том числе, и для полупроводниковой промышленности, Ensinger в состоянии предложить продукцию почти для всех этапов обработки полупроводниковых пластин. В зависимости от индивидуальных требований эксплуатации подбирается наиболее верный вариант решения. Эти индивидуальные решения могут помочь снизить системные расходы и обеспечить улучшение процесса производства полупроводников.

Следующие пластики для данных процессов доступны:

TECASINT 4111 (PI)
TECASINT 4011 (PI)
TECASINT 2011 (PI)
TECAPEEK natural (PEEK)
TECAPEEK GF30 (PEEK GF)
TECATRON natural (PPS)
TECATRON GF40 (PPS GF)
TECAFLON PVDF (PVDF)
TECAFLON PTFE (PTFE)
TECADUR PET (PET)

Специальные материалы для back and процессов. Продукты для back-end, применяемые для тестирования чипов, такие как держатели тестовых гнезд, контактные рамки, защелкивающиеся контакты и зондовые платы, стресс-тестовые разъемные гнезда, тестовые адаптеры и пружинные контакты изготавливаются из самых различных TECA пластиков.

Хорошая механическая обрабатываемость с низким образованием заусенец даже при маленьких размерах компонента
Хорошая размерная стабильность в широком диапазоне температур за счет минимального коэффициента линейного терморасширения
Очень низкое влагопоглощение для обеспечения высокой стабильности размеров
Хорошая механическая прочность и жесткость даже при высоких температурах, обеспечивающие минимум простоя
Хорошая степень прочности для предотвращения образования трещин в материале даже при минимальных толщинах стенок

Следующие пластики для процессов back-end доступны:

TECASINT 5201 SD (PAI)
TECASINT 5051 (PAI GF)
TECASINT 4111 (PI)
TECASINT 4011 (PI)
TECATOR 5013 (PAI)
TECAPEEK TS (PEEK)
TECAPEEK CMF (PEEK)
TECAPEEK ELS nano (PEEK)
TECAPEEK natural (PEEK)
TECATRON natural (PPS)
TECAPEI GF30 (PEI GF)

Пластики из стандартного портфеля поставки. В некоторых случаях не предъявляется жестких требований к полимерным деталям. В таких случаях рекомендуется использование высокотехнологичных и инженерных полимерных заготовок без специальных свойств для полупроводниковой индустрии. Эти пластики обладают отличными механическими характеристиками, хорошей термостойкостью, хорошей стойкостью к химическим веществам, но все же дешевле специальных полимеров.

Следующие пластики для данных процессов доступны:

TECAFLON (PTFE, PVDF)
TECASON (PSU, PPSU, PES)
TECATRON (PPS)
TECAPEEK (PEEK)
TECATOR (PAI)
TECASINT (PI)
TECAFINE (PE)
TECAFORM (POM)
TECAMID (PA)
TECAST (PA 6 C)
TECAPET (PET)
TECANAT (PC)

→ Узнайте больше о применении полимерных заготовок Ensinger из брошюры «Пластики, используемые в полупроводниковых технологиях» (раздел «Скачать», «Брошюры и каталоги»). Полная программа поставки в каталоге «Технические (инженерные) пластики» (раздел «Скачать», «Брошюры и каталоги»).